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第36章 反了他了还（第1页）

总工程师当然不认为康硕真的能够解决问题，而且实验室是非常机密的地方，就算是他也没有权利随便就带人进去参观。

这些规矩康硕当然也清楚，他本来也没指望自己一句话就能让总工程师深信不疑，毕竟还没打过交道。

不过，康硕有的是办法，他接着说道：“光刻工艺过程中，自动传输装置将晶圆送入光刻机，首先的操作就是掩模与晶圆的预对准。

“随后视像自动对准系统启动，通过工业相机从光刻机的显微镜相机接口获取含有掩模和晶圆对准标记的图像，然后计算机图像处理算法会分别获取掩模和晶圆的对准标记中心坐标。

“跟着这个标记就可以计算出掩模和晶圆对准标记中心坐标差，精确控制光刻机掩模台的移动，经过反复图像分析和调节，最终完成掩模和晶圆自动对准。”

“我猜，你们的数据就是在这个时候开始走向偏离的，你们每次获取的坐标都各不一样，对准系统工作也有一些紊乱，对吗？”

康硕笑的十分自信，总工程师那表情简直就像是大白天见了鬼：“你你怎么知道？”

康硕没有回答他的这个问题，而是接着把光刻机视像自动对准系统所有的流程全部给他分析了一遍，包括其中最可能出现的问题。

这个流程可是复杂的很，从晶圆自动载入开始：

晶圆自动载入预对准采集图像搜索对准标记计算坐标差控制掩膜平台移动对准反复重复上述过程的粗调精调自动曝光晶圆移出。

到晶圆移出结束。

这整个过程所有可能出现问题的环节，康硕那是一一剖析，听得总工程师目瞪口呆：

这完全不符合常理啊，这年轻人真是西州大学大三的学生？确定不是阿斯麦的资深工程师？这也太离谱了吧？

“你是怎么知道这些的？”虽然不该问，但总工程师还是没忍住，如此问道。

“也没什么难的啊，知网里论文一大堆，流程都能查到啊！”

康硕理所当然的说道：“这些流程在脑子里多过几遍，哪儿有问题那不是一目了然的吗？”

“看论文一目了然”

总工程师突然觉得自己这几十年白活了：论文他也看啊，他不但看，他还写呢，他写的论文知网里就有不少！

流程就更不用说了，不管是在实验室还是在产线上，光刻流程他一遍一遍跟，都没落下过，可以说是一步一步的流程全都印到脑子里了，他怎么就没看出那么多问题来？

“康先生真的是聪明绝顶！”最后，总工程师只得无奈的这么说道，内心颇受打击。

“总工程师可以思考一下，我说的这些问题，你们在实施的过程当中遇到了几个。”康硕没有谦虚的反驳，认下了他很聪明这个说法。

聪明就是康硕要立的人设，他就是要让过目不忘和见微知著成为他的标签，这样很多的问题都能解释了。

“遇到了几个”总工程师一回想，那是直接欲哭都无泪：“你所说的问题，我们好像一个不落的全都踩了，或轻或重。”

康硕点了点头：“那就能解释为什么你们最好能做到20n，最差却连90n都达不到了。”

“刚刚说的问题康先生都能解决？”总工程师小心翼翼却又满怀期待的问着。

康硕点了点头，不能解决的问题也不是没有，但这些问题他刚刚都没有说，说的那都是能解决的。

“那行！”总工程师立即起身：“我立即向领导报告这件事儿，解决方案对我们极为重要，一定不会让你吃亏的。”

“先不着急，明天我们先进实验室看一看，我需要确定最终的问题是不是就是我说的这些，确定了之后再向领导汇报也不迟。”

康硕颇为谨慎，光靠嘴说有时候并不保险，他必须亲自去检验一番。

“没问题，这个我来安排！”说着，总工程师立即就去申请授权了，比任何时候都积极。

实验室之行并没有发生任何意外，果真就是哪些问题，通过改进前馈控制算法、视像自动对准系统、超精密光栅尺位移测量系统、以及偏振调试和高精度胶面检测等等这些，问题就能解决。

正如总工程师说的那样，硬件确实是达标的。

“总工，我统计过了，大约需要改进5大系统87个子系统，这些问题处理完了之后，光刻精度达到28n是绰绰有余的。”

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